Просмотр «Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда»

Контакты: Редакция журнала "Горение и плазмохимия", Институт проблем горения, ул. Богенбай батыра 172. E-mail: cpc.journal.icp@gmail.com