Руденко, К. and Орликовский, А. 2014. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. Горение и плазмохимия. 12, 3 (Sep. 2014), 183–188. DOI:https://doi.org/10.18321/.