Баринов С, Ефремов А, Кучумов А. О влиянии состава смеси CH4+Ar на параметры плазмы и кинетику плазменной полимеризации в условиях тлеющего разряда постоянного тока. ГиП. 2014;12(3):177-182. doi:10.18321/