Амиров, И., Изюмов, М., & Наумов, В. (2014). Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда. Горение и плазмохимия, 12(3), 189-193. https://doi.org/10.18321/