АМИРОВ, И.И.; ИЗЮМОВ, М.О.; НАУМОВ, В.В. Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда. Горение и плазмохимия, [S. l.], v. 12, n. 3, p. 189–193, 2014. DOI: 10.18321/. Disponível em: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729. Acesso em: 29 oct. 2025.