Амиров, И.И., М.О. Изюмов, and В.В. Наумов. 2014. “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”. Горение и плазмохимия 12 (3): 189-93. https://doi.org/10.18321/.