И. Амиров, М. Изюмов, and В. Наумов, “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”, ГиП, vol. 12, no. 3, pp. 189–193, Sep. 2014, doi: 10.18321/.