Руденко, К.Ф., and А.А. Орликовский. “Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники”. Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, Sept. 2014, pp. 183-8, https://doi.org/10.18321/.