Амиров, И.И., et al. “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”. Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, Sept. 2014, pp. 189-93, https://doi.org/10.18321/.