Амиров, И.И., М.О. Изюмов, and В.В. Наумов. “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”. Горение и плазмохимия 12, no. 3 (September 19, 2014): 189–193. Accessed October 29, 2025. https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729.