Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния

Д.В. Ситанов; В.В. Кашин

doi:10.18321/

Авторы

Д.В. Ситанов ФГБОУ ВПО «Ивановский государственный химико-технологический университет», пр. Шереметевский 7, 153000, Иваново
В.В. Кашин ФГБОУ ВПО «Ивановский государственный химико-технологический университет», пр. Шереметевский 7, 153000, Иваново

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Ключевые слова:

плазма, кремний, рекомбинация, стационарное состояние

Аннотация

В этой работе представлены константы процессов рекомбинации (вероятности) для атомов хлора на кремнии в плазме Cl₂ с использованием релаксационной импульсной методики (РИМ). Были проанализированы факторы влияющие на ошибку измерений. Были определены временные интервалы соответствующие стационарному состоянию поверхности.

Библиографические ссылки

(1). Кириллов Ю.В., Ситанов Д.В. Исследование процессов в высокоэнергетических установках // Химическая физика и электроника. 2004. Т. 38. № 3. С. 234–238.

(2). Ефремов А.М., Светцов В.И., Ситанов Д.В. Физические процессы в плазменных системах // Теплофизика высоких температур. 2008. Т. 46. № 1. С. 1–5.

(3). Macko P., Veis P., Cernogora G. Diagnostics of low-temperature plasma // Plasma Sources Science and Technology. 2004. Vol. 13. P. 251–257.