РУДЕНКО, К.Ф.; ОРЛИКОВСКИЙ, А.А. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. Горение и плазмохимия, [S. l.], v. 12, n. 3, p. 183–188, 2014. DOI: 10.18321/. Disponível em: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728. Acesso em: 1 nov. 2025.