Руденко, К.Ф., and А.А. Орликовский. “Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники”. Горение и плазмохимия 12, no. 3 (September 19, 2014): 183–188. Accessed November 1, 2025. https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728.