Ситанов Д, Кашин В. Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния. ГиП [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2025 Oct. 31];12(3):165-70. Available from: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/723