Баринов С, Ефремов А. Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане. ГиП [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2025 Oct. 30];12(3):171-6. Available from: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726