Баринов С, Ефремов А, Кучумов А. О влиянии состава смеси CH4+Ar на параметры плазмы и кинетику плазменной полимеризации в условиях тлеющего разряда постоянного тока. ГиП [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2025 Nov. 1];12(3):177-82. Available from: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/727