Руденко К, Орликовский А. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. ГиП [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2025 Nov. 1];12(3):183-8. Available from: https://www.cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728