Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане

С.М. Баринов; А.М. Ефремов

doi:10.18321/

Авторлар

С.М. Баринов ФГБОУ ВПО «Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университет», Ф. Энгельса д. 7, 153000, Иваново
А.М. Ефремов ФГБОУ ВПО «Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университет», Ф. Энгельса д. 7, 153000, Иваново

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Кілт сөздер:

өсу кинетикасы, плазма, деструкция, разряд, метан

Аңдатпа

Полимерлі материалдың метанның плазмасында сыртқы әсер ететін шамалардың әсерінде, солғын разрядттың тұрақты тоғында (газ қысымы, газ көлемі, тоқ тығыздығы) кинетикалық калыптасуын зерттеу. Сонымен қатар деструкциялық материалдардың Ar және O₂ плазмасында кинетикасы зерттелінді.

Әдебиеттер тізімі

(1). Eddy C.R., Leonhardt D., Douglass S.R. et al. Surface processes in plasma environments // J. Vac. Sci. Technol. A. 1999. Vol. 17. No. 3. P. 780–785.

(2). Kim H.K., Lin H., Ra Y. et al. Thin film deposition study // J. Vac. Sci. Technol. A. 2004. Vol. 22. No. 3. P. 598–602.

(3). Lim W., Voss L., Khanna R., Gila B.P. et al. Plasma surface modification // Appl. Surf. Sci. 2006. Vol. 253. P. 1269–1274.

(4). Cho H., Vartuli C.B., Donovan S.M. et al. Plasma-assisted processes // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. Vol. 16. No. 3. P. 1631–1635.

(5). Иванов Ю.А., Рытова Н.М., Тимакин В.Н., Эпштейн И.Л. Исследование плазмохимических процессов // Химия высоких энергий. 1990. Т. 24. № 6. С. 541–546.

(6). Иванов Ю.А., Рытова Н.М., Солдатова И.В., Тимакин В.Н., Эпштейн И.Л. Плазмохимия-91 // Институт нефтехимического синтеза АН СССР. М., 1991. Т. 1. С. 172–208.

(7). Солдатова И.В., Котенев В.А. Плазмохимические покрытия и их свойства // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2012. Т. 48. № 2. С. 159–164.

(8). Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергоатомиздат, 1989. 272 с.

(9). Семенова О.А., Ефремов А.М., Баринов С.М., Кучумов А.А., Светцов В.И. Плазмохимические процессы при осаждении пленок // Микроэлектроника. 2013. Т. 42. № 5. С. 375–381.

(10). Семенова О.А., Ефремов А.М., Баринов С.М., Светцов В.И. Высокотемпературные процессы в плазме // Теплофизика высоких температур. 2014. Т. 52. № 2. С. 1–6.

(11). Ясуда Х. Полимеризация в плазме. М.: Мир, 1988. 376 с.

(12). Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: John Wiley & Sons Inc, 1994. 382 p.

(13). Herrbout D., Bogaerts A., Yan M., Gijbels R., Goedheer W., Dekempeneer E. Modeling of plasma behavior // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. No. 2. P. 520–525.

(14). Рыбкин В.В., Титов В.А. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Серия Б. Т. VIII-1. С. 130.