Neutral species kinetics and heterogeneous recombination probabilities for chlorine and hydrogen atoms in HCl+He mixture plasma
DOI:
https://doi.org/10.18321/Keywords:
plasma, chlorine, hydrogen, kinetics, mixturesAbstract
The effects of HCl/He mixing ratio on plasma parameters and densities of plasma active species were investigated by the combination of plasma diagnostics (Langmuir probe measurements, optical emission spectroscopy) and modeling. It was found that the dilution of HCl by helium at constant gas pressure and discharge current influences the heterogeneous recombination probabilities for both Cl and H atoms. Some possible mechanisms of such influence were discussed.References
(1). Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987. 420 с.
(2). Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 264 с.
(3). Efremov A.M., Nam-Ki Min, Bok-Gil Choi, Kyu-Ha Baek, Kwang-Ho Kwon. Model-Based Analysis of Plasma Parameters and Active Species Kinetics in Cl₂/X (X = Ar, He, N₂) Inductively Coupled Plasmas // Journal of The Electrochemical Society. 2008. Vol. 155. P. 1–8.
(4). Ефремов А.М., Пивоварёнок С.А., Светцов В.И. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в хлороводороде // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 3. С. 163–175.
(5). Ефремов А.М., Светцов В.И., Балашов Д.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2003. Т. 46. № 3. С. 118–122.
(6). Юдина А.В., Ефремов А.М., Лемехов С.С., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 1. С. 36–39.
(7). Рыбкин В.В., Исляйкин А.М., Светцов В.И. // Физика и химия обработки материалов. 1997. № 5. С. 60–63.
(8). Ефремов А.М., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2004. Т. 47. № 2. С. 104–107.
Downloads
Published
Issue
Section
License
Copyright (c) 2014 А.А. Овцын, А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.


