Кинетика нейтральных частиц и вероятности гетерогенной гибели атомов хлора и водорода в плазме смеси HCl+Hе

А.А. Овцын; А.М. Ефремов; Д.Б. Мурин

doi:10.18321/

Авторлар

А.А. Овцын Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университеті, Ф. Энгельс д. 7, 153000, Иваново
А.М. Ефремов Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университеті, Ф. Энгельс д. 7, 153000, Иваново
Д.Б. Мурин Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университеті, Ф. Энгельс д. 7, 153000, Иваново

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Кілт сөздер:

плазма, хлор, сутегі, кинетика, қоспалар

Аңдатпа

Плазманың комбинациялық диагностикасы арқылы (Лангмюра зондық әдісі,оптикалық эмиссионды спектроскопия) НCl+He қоспасының белгілі бір қарым-қатынасында плазманың параметрлері мен тығыздығына әсерлерін моделдеу. Тұрақты қысымда және тұрақты тоқ разрядында НCl гелиге қосу арқылы сутек пен хлор атомдарының гетерогенды мүмкін болатын рекомбинациясына әсері зерттелді. Бұндай мүмкін болатын әсерлердің механизмдері талқыланды.

Әдебиеттер тізімі

(1). Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987. 420 с.

(2). Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 264 с.

(3). Efremov A.M., Nam-Ki Min, Bok-Gil Choi, Kyu-Ha Baek, Kwang-Ho Kwon. Model-Based Analysis of Plasma Parameters and Active Species Kinetics in Cl₂/X (X = Ar, He, N₂) Inductively Coupled Plasmas // Journal of The Electrochemical Society. 2008. Vol. 155. P. 1–8.

(4). Ефремов А.М., Пивоварёнок С.А., Светцов В.И. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в хлороводороде // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 3. С. 163–175.

(5). Ефремов А.М., Светцов В.И., Балашов Д.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2003. Т. 46. № 3. С. 118–122.

(6). Юдина А.В., Ефремов А.М., Лемехов С.С., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 1. С. 36–39.

(7). Рыбкин В.В., Исляйкин А.М., Светцов В.И. // Физика и химия обработки материалов. 1997. № 5. С. 60–63.

(8). Ефремов А.М., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2004. Т. 47. № 2. С. 104–107.