Кинетика нейтральных частиц и вероятности гетерогенной гибели атомов хлора и водорода в плазме смеси HCl+Hе

А.А. Овцын; А.М. Ефремов; Д.Б. Мурин

doi:10.18321/

Авторы

А.А. Овцын Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса 7, 153000, Иваново
А.М. Ефремов Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса 7, 153000, Иваново
Д.Б. Мурин Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса 7, 153000, Иваново

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Ключевые слова:

плазма, хлор, водород, кинетика, смеси

Аннотация

Эффекты соотношений HCl/He по параметрам плазмы и плотности плазмы активных видов были изучены с помощью комбинации диагностики плазмы (метод зондов Лангмюра, оптическая эмиссионная спектроскопия) и моделирования. Было обнаружено, что разбавление HCl в гелии при постоянном давлении газа и тока разряда влияет на гетерогенные вероятности рекомбинации для обоих Cl и H атомов. Были обсуждены некоторые возможные механизмы такого влияния.

Библиографические ссылки

(1). Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987. 420 с.

(2). Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 264 с.

(3). Efremov A.M., Nam-Ki Min, Bok-Gil Choi, Kyu-Ha Baek, Kwang-Ho Kwon. Model-Based Analysis of Plasma Parameters and Active Species Kinetics in Cl₂/X (X = Ar, He, N₂) Inductively Coupled Plasmas // Journal of The Electrochemical Society. 2008. Vol. 155. P. 1–8.

(4). Ефремов А.М., Пивоварёнок С.А., Светцов В.И. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в хлороводороде // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 3. С. 163–175.

(5). Ефремов А.М., Светцов В.И., Балашов Д.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2003. Т. 46. № 3. С. 118–122.

(6). Юдина А.В., Ефремов А.М., Лемехов С.С., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 1. С. 36–39.

(7). Рыбкин В.В., Исляйкин А.М., Светцов В.И. // Физика и химия обработки материалов. 1997. № 5. С. 60–63.

(8). Ефремов А.М., Светцов В.И. // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2004. Т. 47. № 2. С. 104–107.